ISO 23812-2009 表面化学分析.次级离子质谱测定法.使用多δ层参考材料的硅深度校准方法

作者:标准资料网时间:2024-05-19 12:08:33 浏览:8626 来源:标准资料网

【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-Secondary-ionmassspectrometry-Methodfordepthcalibrationforsiliconusingmultipledelta-layerreferencematerials
【原文标准名称】:表面化学分析.次级离子质谱测定法.使用多δ层参考材料的硅深度校准方法
【标准号】:ISO23812-2009
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2009-04
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际标准化组织(IX-ISO)
【起草单位】:ISO/TC201
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:分析;校准;化学分析和测试;深度测量;质谱学;参考材料;次级离子质谱测定法;硅;规范(验收);表面化学;表面处理;表面;测试
【英文主题词】:Analysis;Calibration;Chemicalanalysisandtesting;Depthmeasurement;Massspectrometry;Referencematerials;Secondary-ionmassspectrometry;Silicon;Specification(approval);Surfacechemistry;Surfacetreatment;Surfaces;Testing
【摘要】:
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_40
【页数】:19P;A4
【正文语种】:英语

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